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                石家莊興耀真空泵科技有限公司

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                液環式真空泵的結構及注意事項

                編輯:石家莊興耀真空泵科技有限公司時間:2021-04-26

                     液環式真空泵是以液體為工質的粗泵,一種工作介質為水的稱為水環真空泵,另一種工作介質為油、硫酸和醋酸,水環式真空泵在工業上應用廣泛。

                     液環真空泵可分為單級和雙級,以及單作用和雙作用的區別。單級和兩級真空泵是指其葉輪的級;單動/雙動是指葉輪/殼體的形式。單作用葉輪真空泵的葉輪旋轉一周,氣體經歷一次吸入/排出;雙作用真空泵的葉輪旋轉一周,經歷兩次氣體吸入和排出。

                選擇真空泵時,應注意以下幾點:

                1.真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如:真空鍍膜要求1× 真空泵的真空度應至少為5× 10-6mmHg。通常,泵的真空度比真空設備的真空度高半到一個數量級。

                2.正確選擇真空泵的工作點。每臺泵都有一定的工作壓力范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmhg,在如此寬的壓力范圍內,泵的泵速隨壓力變化,其穩定工作壓力范圍為5× 10-4~5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作點應選擇在該范圍內,不允許在10-8mmhg下長時間工作。另一個例子是鈦升華泵可以工作在10-2mmhg,但其工作壓力應小于1× 10-5mmhg更好。

                3.真空泵在其工作壓力下,應能將真空設備工作過程中產生的氣體全部排出。

                4.正確組合真空泵。由于真空泵的選擇性抽氣,有時一種泵不能滿足抽氣要求,因此需要多臺泵的組合互補才能滿足抽氣要求。例如,鈦升華泵對氫有很高的抽運速度,但不能抽氦,而三極濺射離子泵(或雙極非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽運速度。兩者的結合將使真空裝置獲得更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預抽真空;有的真空泵出口壓力低于大氣壓,需要預泵,所以需要結合泵的使用。

                5.油污染的真空設備要求。如果設備對無油要求嚴格,則應選擇各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等;如果要求不嚴格,可選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如冷阱、擋板、隔油池等,也能滿足真空清潔的要求。

                6.了解抽出氣體的成分、氣體中是否含有可凝蒸汽、是否有顆粒粉塵、是否有腐蝕性等,在選擇真空泵時,需要了解氣體成分,并為被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒物和腐蝕性氣體,應考慮在泵的進口管道上安裝冷凝器、除塵器等輔助設備。

                7.真空泵排出的油蒸氣對環境有何影響。如果環境不允許污染,可以選擇無油真空泵,或將油蒸氣排到室外。

                8.真空泵運行過程中產生的振動是否對工藝和環境有影響。如不允許,應選用無振動的泵或采取防振措施。

                9.真空泵的價格、運行維護費用。


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