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                石家莊興耀真空泵科技有限公司

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                干式真空泵的幾種選擇類型

                編輯:石家莊興耀真空泵科技有限公司時間:2017-05-04

                生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。

                3 三葉圓裂片式 

                干式真空泵三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進

                一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都

                需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

                4 組合式(羅茨+爪)  

                組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相

                同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的

                每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

                5 雙圓裂片式 

                雙圓裂片式設計和目前最流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并

                且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使

                得其耗電量相對較低。發展趨勢和選擇在以上介紹的所有類型的干式真空泵,我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,因為真空泵的抽

                氣速率與真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當然,還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素,那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與

                大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法,一是改變電源的頻率,即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其

                中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制,但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法,當然,它只能提供不可控的單

                一轉速。

                可以看到,干式真空泵有著如此多的不同設計,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶

                意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器

                其他部件的損壞。

                    由于螺桿式設計為單級設計,同多級泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比,其在零件的使用數量上減少了百分之六十。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。


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