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羅茨真空機組前級泵的選擇
1、抉擇前級泵的抽速,要依據羅茨真空機組的歷久事情壓力規模斟酌。
例若有一體系羅茨真空機組機組抽氣,請求在1 mbar進口壓力時有600升/秒的抽速,并歷久事情,問應抉擇多大抽速的前級泵。
先假設用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20得出K=20時最大排擠壓力為30 mbar。
由此得出,當選用30升/秒前級泵時,在進口壓力低于1.5 mbar如下事情是可行的,但高于1.5 mbar進口壓力事情時就選用大一些前級泵了。該例中,事情真空度1 mbar低于1.5 mbar,以是30升/秒的前級泵能夠滿意上述真空體系的抽氣請求。
別的該當斟酌的是,對預抽光陰的請求成績,如果失常事情光陰遠比預抽光陰長,可選較小的前級泵;如果真空室較大,并且請求很快預抽,就要用較大的前級泵,偶然為了更好施展裝備的效力,機組裝有較大的預抽泵,在失常事情后停掉它,而用較小的前級泵保持,這樣做是為了勤儉功率。
2、對羅茨真空泵機組的極限壓力的請求,也是抉擇前級泵的必需斟酌的。
對極限真空度請求較高(達1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力)一樣平常選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度請求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度請求在133~1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環式真空泵作為前級泵。
當選用往復式或液環式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一樣平常為羅茨真空泵的1/2-1/4,不克不及太大,不然將使壓縮比過大,形成羅茨真空泵的排氣溫度高而不克不及失常事情。
3、選用前級泵時還必需斟酌被抽氣體中能否有腐蝕性介質,能否含有可凝性氣體,是大批的照樣微量的。
如果含有腐蝕性氣體,就不克不及選用油封機械泵,油封機械泵還不適宜抽除含有大批可凝性蒸汽的氣體,不然將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必需采用帶有氣鎮裝配的油封機械泵作為前級泵。
為了得到在低進口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速度,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空機組的前級泵構成的三級或四級機組,此時羅茨真空機組之間的抽速比一樣平常在2~5之間。
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