真空泵系統中各個真空泵的功能

真空泵系統中各個真空泵的功能

根據真空泵的性能.在各種應用的真空泵系統中，各類泵可承扣如下一些工作:
1)主泵。在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2)粗抽泵。從大氣壓開始，降低系統的壓力，達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3)前級泵。用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。

4)維持泵。在真空系統中，當抽氣量很小時，不能有效地利用主要前級泵。為此，在真空系統中配置一種容最較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作，或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5)粗(低)真空泵。從大氣壓開始.降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。

6)高真空泵。在高真空范圍內工作的真空泵。

7)超高真空泵。在超高真空范圍內工作的真空泵。

8)增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力范圍內的抽氣量，或降低前級泵容蛋要求的真空泵，如機械增壓泵和油增壓泵等。